GUD系列電動真空球閥技術規范

電動真空球閥是在1.3×10-7～6×105Pa的真空系統中用來開啟或隔斷氣流的氣動閥門，廣泛適用各類氣體，液體等正、負壓力管道系統，符合GMP標準。電動真空球閥是一種專為真空系統設計的閥門，主要用于接通或切斷管路中的介質流動。以下是其詳細介紹：

• 結構組成：由電動執行器和球閥本體組成。電動執行器包括電動機、限位開關、控制電路等，球閥本體由閥體、閥球、密封圈等部件組成。

• 工作原理：電動執行器通過外接電源的切換或外部輸入信號，控制電動機的啟停和正反轉，電動機驅動閥球旋轉，從而實現介質通道的開啟或關閉。

• 結構特點：閥門為直通式，靠球面密封，既能用在真空狀態下，也能在低壓狀態下使用，并可以任意位置安裝。

• 連接方式：主要有法蘭連接和螺紋連接兩種。法蘭連接適用于各種壓力和溫度條件，螺紋連接通常應用于小型閥門。

• 性能優勢：密封結構設計獨特，漏率可達到＜1×10-10Pa.M3/S；開關扭矩小，工作穩定、可靠；結構緊湊，重量輕；既能適用高真空，又能適用一定的正壓力。

• 應用領域：廣泛應用于真空、乳制品、酒業、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工等領域。

電動高真空球閥是集成電動執行機構與真空密封結構的旋轉式控制設備，廣泛應用于半導體、航天、醫藥等高真空系統自控場景。依托進口真空密封工藝與低泄放電動驅動技術，通過電機驅動球體旋轉實現流道通斷，適配 1×10?1Pa-1×10??Pa 真空度、-40℃-300℃溫度及 DN10-DN200 口徑，泄漏率≤1×10?11 Pa?m3/s，具備真空密封可靠、操作無油污染、自動化調控特性，是高真空管路核心控制部件。

GUD系列電動真空球閥技術規范電動高真空球閥核心定義

采用無磁不銹鋼閥體、拋光球體閥芯、金屬波紋管密封組件及無油電動執行機構，安裝于高真空管路中通過執行機構接收電信號，驅動閥桿帶動球體旋轉 90°，改變流道通斷狀態，實現真空系統介質（氣體 / 蒸汽）自動化調控且無泄漏污染的閥門裝置。具備高真空密封、無油潔凈、電動精準控制特性，實現 “真空系統壓力穩定、介質無泄漏逃逸、管路自動化運行" 三重作用。

電動高真空球閥工作原理

核心由真空閥體、拋光球體、波紋管密封座及無油電動執行機構組成：執行機構經真空法蘭安裝于閥體頂部，接收 4-20mA 或開關量信號后，通過無油減速機構將轉矩傳遞至波紋管密封閥桿；閥桿帶動球體旋轉，全開時球體通孔與流道對齊，介質流通；關閉時球面壓緊預緊式金屬密封座切斷流道。核心設計：采用金屬波紋管實現閥桿動密封（避免填料泄漏）；球體與密封座表面拋光至 Ra≤0.2μm 增強密封性；執行機構內置無油潤滑結構，防止油蒸氣污染真空系統。

電動高真空球閥主要應用領域

半導體制造：芯片刻蝕設備，控制高真空（1×10??Pa）反應氣體通斷；薄膜沉積系統，調節真空腔室進氣流量。

航天軍工：衛星真空測試艙，控制艙內真空度維持；火箭發動機燃料系統，切斷高真空環境下推進劑輸送。

醫藥化工：真空冷凍干燥機，調節藥品干燥腔真空度；無菌原料藥生產，控制高真空蒸餾系統介質流道。

科研實驗：粒子加速器真空系統，切斷超高真空（1×10??Pa）管路；材料表面科學實驗，調節真空鍍膜氣體流量。

電動高真空球閥關鍵技術參數

公稱通徑：DN10-DN200mm；2. 真空度范圍：1×10?1Pa-1×10??Pa；3. 介質溫度：-40℃-300℃；4. 閥體材質：316L 無磁不銹鋼、蒙乃爾合金；5. 閥芯類型：O 型（快開）；6. 密封結構：金屬波紋管 + 司太立合金密封座；7. 調節精度：≤±1% FS；8. 泄漏率：≤1×10?11 Pa?m3/s（He 質譜檢漏）；9. 執行機構：輸出力矩 50-2000N?m，防護等級 IP67，無油潤滑設計；10. 表面粗糙度：球體與密封座 Ra≤0.2μm。

電動高真空球閥與相關設備的比較

與電動常溫球閥：高真空型可實現 1×10??Pa 超高真空密封，采用波紋管動密封，無油污染；常溫型真空度僅達 1×10?1Pa，填料密封易泄漏，成本低 60%。

與氣動高真空球閥：電動型無需氣源，控制距離遠（可達 1000m），適配無壓縮空氣的潔凈實驗室；氣動型響應快 30%，但需配無油氣源處理裝置，維護成本高 40%。

與國產電動高真空球閥：進口設備泄漏率低 100 倍，密封面拋光精度高，波紋管壽命長 8 倍，適配 1×10??Pa 超高真空場景。

電動高真空球閥選型方法與注意事項

選型：按真空度選密封（1×10??Pa 以上選金屬硬密封）；介質選材質（腐蝕選蒙乃爾合金）；口徑按真空流量 conductance 值計算（預留 20% 余量）。

注意：符合 GB/T 12221、ISO 1609 標準；安裝前用無水乙醇清潔密封面；嚴禁接觸油污（防真空污染）；定期用氦質譜儀檢測泄漏率。

電動高真空球閥維護要點（拓展）

每日巡檢密封泄漏與執行機構運行狀態；每月清潔閥體內部與密封面；每 3 個月檢查波紋管密封性；每 6 個月檢測密封座磨損；每年校驗真空度與調節精度，更換老化波紋管。

GUD系列電動真空球閥技術規范主要性能：
 漏率： ≤1.3×10-9Pa.M3/S；
 壓力范圍：1.3×10-7Pa～6×105pa；
 工作溫度：-30℃～+232℃；
 工作電壓：220V；
 工作介質：水、蒸氣、酸、堿；
 安裝位置：任意；
 壽命：≥20000次。
原理：采用電動執行器驅動閥桿轉 90o達到開關目的。

GUD系列電動真空球閥的性能特點：
 密封結構設計獨特，漏率可達到＜1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現狀；
 開關扭矩小，配置電動執行器小，工作穩定、可靠；
 結構緊湊，重量輕，外形簡潔、美觀；
 該閥既能適用高真空，又能適用一定的正壓力下使用；
由于球閥全通導，又能達到超高真空要求，所以也能適用于加速器真空系統。
主要零件材料：
閥體　　304、316L； 球體　　316L；
密封件　增強聚四氟乙烯

GUD系列電動真空球閥技術規范連接尺寸
快卸法蘭連接尺寸 (標準：GB4982)

衛生級法蘭連接尺寸 (標準：ISO-2852)

活套法蘭連接尺寸 (標準：GB6070)

電動真空球閥它有90度的旋轉姿態，閥體為球塞式，有環形埋孔或管道根據其中心線。

電動真空截止閥的主要特點是結構緊湊、密封性能可靠、結構簡單、維護方便。突出面和球體經常封閉，不易被媒介磨損，易于使用和維護。閥門是管道中的關鍵用途，用于通過電動閥門斷開、調度和改變媒介的流體方向。實際操作只需旋轉90度以上，旋轉扭矩小即可緊密閉合。

電動真空球閥電源開關、應急切斷閥使用，閘閥在出廠后應按照以下機電工程裝配和維修

電動球閥組裝和維護的主要保證如下:

1、只有在排放前后球閥周圍的工作壓力，才能對球閥進行拆卸和溶解的實際操作。

2、重新組裝球閥油路板時，必須對稱、逐漸、均勻地擰緊地腳螺栓。

3、清洗劑應與球閥里的橡膠企業產品、塑件、金屬件及工作中工作介質（比如中國天然氣）等均相溶。工作中存在介質為天然氣時，可以通過用車用汽油（GB484-89）清洗以及金屬進行零件。非金屬復合材料主要零件用純水或乙醇溶液清洗。

精制出的各個零件可用浸泡的方法清洗。所有附著在邊界層上的植物油、污漬、積聚物、污垢等都應在清洗過程中清除。

如果仍有未溶解的非金屬零件，可以使用預先浸有清潔劑（防止化學纖維脫落并粘附在零件上）的干凈、精細清潔的亞麻布進行清潔。

GUD系列電動真空球閥技術規范電動球閥正確安裝方法

正確安裝電動球閥需要按照以下步驟進行：

一、確定球閥的安裝位置：

根據系統需求和管道布置，確定球閥的安裝位置。

二、準備工具和材料：

準備好所需的工具和材料，包括螺絲刀、扳手、螺栓、墊圈等。

三、清潔管道口：

清潔安裝位置上的管道口，確保沒有雜物和污垢。

四、安裝球閥：

將球閥的法蘭與管道的法蘭對齊，用螺栓和墊圈將球閥固定在管道上。注意要均勻擰緊螺栓，以確保安裝牢固。

五、連接電動執行器：

將電動執行器與球閥連接。根據球閥的型號和電動執行器的要求，正確連接電源和控制線。

六、調試和測試：

完成安裝后，對球閥進行調試和測試。通過操作電動執行器，測試球閥的開關狀態，確保正常工作。

七、檢測測試：

在球閥安裝完成后，進行一次全面的測試。確保球閥的開關狀態正常，并檢查是否有泄漏。

八、理順電纜和控制線：

將電纜和控制線整理好，確保沒有交叉和纏繞。

以上是電動球閥正確安裝的方法，確保每一步都正確操作，以確保球閥正常運行。在安裝過程中，如有不確定的地方，最好咨詢人士或根據球閥的安裝指南進行操作。